워싱턴의 연구단체 Centre for Technology & Statecraft(CTS)는 9월 말 보고서에서 중국 소유 반도체 공장이 2026년 초까지 침지형 DUV 노광장비 343대를 확보한 것으로 추정했다. 보도에 따르면 이 가운데 약 270대는 ASML 장비다. 이 보고서는 미국 수출통제 당국 출신 Nicholas Brown과 백악관·상무부 기술정책 자문 경력이 있는 Saif Khan이 공동 작성했다. 전직 미국 관리들은 최근 수년간 중국 반도체 공장들이 수십억달러 규모의 장비를 모았다고 보고, 추가 수출을 막아야 한다고 주장했다.
기술적으로 중요한 지점은 DUV가 EUV만큼 앞선 장비는 아니어도 완전히 구세대 장비로 보긴 어렵다는 점이다. 보고서는 이 장비가 7nm급 로직 반도체와 AI 프로세서에 들어가는 고급 메모리 생산에 맞게 적용될 수 있다고 설명했다. 그래서 이번 수량 집계는 단순한 장비 보유 현황을 넘어, 서방 동맹이 중국향 침지형 DUV 수출을 전면 차단할지 둘러싼 워싱턴의 논쟁에 새 데이터를 더하는 근거로 다뤄지고 있다.